长寿高精度位移传感器：实现精准测量的关键技术

高精度位移传感器是现代工业检测与自动化控制中的关键器件，其通过非接触或接触式测量方式，实现对物体位置、位移或形变的微米级甚至纳米级精确感知。核心技术主要包括激光三角法、电容式测量、电感式测量及光栅尺等。激光三角法传感器通过发射激光束至被测物体表面，接收反射光点并计算光斑位置变化，从而推导出位移量，适用于高反光或复杂表面。电容式传感器则利用电极与被测物间电容变化检测位移，分辨率极高但易受环境干扰。电感式传感器基于电磁感应原理，对金属物体测量稳定性优异。光栅尺通过光学干涉实现纳米级定位，广泛应用于精密机床。这些技术共同支撑了半导体制造、机械加工、机器人导航等领域的精准作业。未来，随着MEMS技术和人工智能算法的融合，传感器将向智能化、集成化方向发展，为工业4.0提供更可靠的测量保障。